O spinner (modelo WS-650-23NPP da marca Laurell) serve para espalhar o fotorresiste sobre as amostras, que podem ter um tamanho de 1 cm² até 6", com rotação programável até 10.000 rpm.  As duas placas aquecedoras (modelo KW-4AH da marca Chemat) são usadas para o soft e hard bake (cura) do fotorresiste.  Possuem controle digital, inomogeneidade de temperatura de 5% para wafer de até 6", e podem aquecer até 200℃.