A probe station da marca Cascade Microtech (agora FormFactor), modelo EP6M, é equipada com 4 pontas de prova, cabos triaxiais, um microscópio, uma câmera CCD e é abrigada numa caixa metálica para medidas no escuro e de baixo ruído. O analisador de parâmetros semicondutores da empresa Agilent (agora Keysight), modelo B1500A, possibilita medidas em temperatura ambiente de curvas  I-V (até 1 fA) e C-V até 200 V.  As medidas são realizadas em temperatura ambiente em amostras de até 6”.