Alinhadora
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Descrição:
Uma alinhadora de máscaras (modelo 200IR da marca OAI) é usada para a fotolitografia de padrões com resolução de até 2 μm em amostras possuindo tamanho de 1 cm2 até 6". Modos de soft contact e hard contact estão disponíveis, assim como alinhamento por retroiluminação infravermelha.