O perfilômetro da empresa Taylor Hobson, modelo Form Talysurf 50, é localizado na sala limpa e é usado principalmente durante o processamento dos dispositivos para medir a espessura da camada de fotorresiste, assim como a taxa e a profundidade da corrosão química. Esse perfilômetro possui uma varredura horizontal unidimensional de até 50 mm, e pode se deslocar verticalmente de até 1 mm.