Sistema de epitaxia por feixe molecular (MBE) : vista geral
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Descrição:
O sistema MBE, originalmente comercializado pela Varian, agora tem o seu suporte técnico realizado pela empresa Veeco. Ele é composto por uma câmara principal de crescimento, uma câmara intermediária para limpeza e armazenamento das amostras, e uma câmara de entrada/saída cuja flange de entrada encontra-se na sala limpa (no fundo). Um computador (na frente) e um rack contendo várias fontes de potências e outros equipamentos (à esquerda) possibilitam o controle das condições de crescimento.