A câmara de crescimento contém todas as célula de efusão, um espectrômetro de massa da marca Stanford Research Systems, modelo RGA 200, assim como medidores de pressão e de fluxo do tipo Bayard-Alpert.  Um sistema RHEED (reflection high-energy electron diffraction), composto por um canhão de elétrons da empresa Staib e uma tela fluorescente monitorada por uma câmara CCD, possibilita a análise das reconstruções de superfície e a determinação  em tempo real das taxas de deposição e da composição dos materiais.  Em standby, a pressão na câmara de crescimento está na faixa de 10^-10 Torr.