Evaporadora por feixe de elétrons (e-beam)
« Back to galleryItem 3 of 3« Previous
Descrição:
A evaporadora por feixe de elétrons da empresa Angstrom Engineering, modelo NexDep, é usada principalmente para a metalização dos contatos elétricos dos dispositivos. Contém um carrossel circular com 6 posições e uma fonte de potência de 6 kW (da empresa Telemark) capaz de depositar praticamente qualquer material. O sistema consegue chegar numa pressão de 2x10-6 Torr em 2 horas e pode depositar filmes sobre substratos de até 6". Todo o sistema é controlado por computador, e um medidor de espessura (da marca Inficon) monitora em tempo real as camadas sendo depositadas.