Filmes Finos

A principal linha de pesquisa do Laboratório de Filmes Finos consiste no estudo de micro e nanoestruturas em filmes finos. Dentro desse tema, podemos dividir os objetivos do Laboratório em quatro tópicos:

(I) Analisar o caráter nanoestruturado dos filmes depositados por plasma; algumas das propriedades que tem sido estudadas são:

(a) resistividade elétrica de filmes finos de materiais e semicondutores: medidas e desenvolvimento de um novo modelo quântico;

(b) efeito Seebeck em junções entre filmes finos com espessuras nanométricas, onde os efeitos quânticos aparecem (Quantum Size Effects);

(c) módulo Elástico de filmes finos nanoestruturados no limite de espessura e nanoestrutura onde as dimensões dos grãos e dos intergrãos desempenham papel essencial.

(II) Caracterização de superfícies em escala nanométrica, como determinação do coeficiente de atrito, medida de potencial elétrico etc.

(III) Desenvolvimento de técnicas e instrumentação para deposição de filmes finos e fabricação de micro e nanoestruturas. (IV) Modificação de superfícies, incluindo tratamento por plasma e micro e nanofabricação. A infra-estrutura do Laboratório de Filmes Finos é constituída por dois sistemas de deposição de filmes finos, três equipamentos para caracterização e infra-estrutura para realização de micro e nanofabricação. Um dos sistemas de deposição de filmes é um reator CVD (Chemical Vapor Deposition) para síntese de filmes de diamantes e nanotubos de carbono; o outro sistema, denominado Metal Plasma Immesion Ion Implantation and Deposition, possibilita a deposição de metais, ligas metálicas, óxidos, nitretos, carbetos e diamondlike, além de implantação iônica. Os equipamentos para caracterização são: um Scanning Probe Microscope com acessórios para microscopia de força atômica (AFM), microscopia de tunelamento (STM), microscopia de força magnética (MFM) e microscopia de força elétrica, um Scanning Electron Microscope com microanálise e acessório para nanolitografia e um goniômetro para medida de ângulo de contato, o que viabiliza a medida de tensão superficial de líquidos e sólidos.

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